标准编号：GB/T 36646-2018
标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
英文名称：Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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