标准编号:GB/T 25915.9-2018
标准名称:洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration
发布部门:国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2018-06-07
实施日期:2018-10-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
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