标准编号:GB/T 36053-2018
标准名称:X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
英文名称:Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2018-03-15
实施日期:2019-02-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

⇝点击下载该标准