标准编号：GB/T 34894-2017
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring methodfor strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
发布部门：国家质检总局 国家标准委
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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