标准编号：GB/T 5226.33-2017
标准名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
英文名称：Electrical safety of machinery—Electrical equipment of machines—Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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