标准编号：GB/T 33922-2017
标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
英文名称：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
发布部门：国家质检总局 国家标准委
发布日期：2017-07-12
实施日期：2018-02-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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