标准编号：GB/T 32999-2016
标准名称：表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate:mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：2016-10-13
实施日期：2017-09-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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