标准编号：GB/T 32817-2016
标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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