标准编号:GB/T 32815-2016
标准名称:硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
英文名称:Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2016-08-29
实施日期:2017-03-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们,我们将及时删除相关资源。