标准编号:GB/T 32815-2016
标准名称:硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
英文名称:Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2016-08-29
实施日期:2017-03-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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