标准编号:GB/T 42263-2022
标准名称:硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
英文名称:Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2022-12-30
实施日期:2023-04-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
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