标准编号：GB/T 41751-2022
标准名称：氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
英文名称：Test method for radius of curvature of crystal plane in GaN single crystal substrate wafers
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2022-10-12
实施日期：2023-02-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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