标准编号：GB/T 30701-2014
标准名称：表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
英文名称：Surface chemical analysis—Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence(TXRF) spectroscopy
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2014-06-09
实施日期：2014-12-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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