标准编号：GB/T 15872-2013
标准名称：半导体设备电源接口
英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-05-15
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 15872-2013
标准名称：半导体设备电源接口
英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-05-15
标准状态：现行
文件格式：PDF