标准编号：IEC/TS 62622-2012
标准名称：纳米技术 人造光栅尺寸规格质量参数、测量和描述
英文名称：Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings
发布部门：国际电工委员会(IEC)
发布日期：2012-10-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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