标准编号：JIS K0169-2012
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱(SIMS) 带多重亚铅层对照物的深度分辨率参数估算方法
英文名称：Surface chemical analysis－Secondary-ion mass spectrometry (SIMS)－Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
发布部门：日本经济产业省（通产省）
发布日期：2012-04-20
实施日期：2012-04-20
标准状态：现行
文件格式：PDF
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