标准编号：JIS C5630-6-2011
标准名称：半导体器件 微电机装置 第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法
英文名称：Semiconductor devices－Micro-electromechanical devices－Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
发布部门：日本经济产业省（通产省）
发布日期：2011-08-22
实施日期：2011-08-22
标准状态：现行
文件格式：PDF
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