标准编号：JIS K0166-2011
标准名称：表面化学分析 高分辨率螺旋电子光谱仪 元素和化学状态分析用能量标度的校准
英文名称：Surface chemical analysis－High-resolution Auger electron spectrometers－Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis
发布部门：日本经济产业省（通产省）
发布日期：2011-05-20
实施日期：2011-05-20
标准状态：现行
文件格式：PDF
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