标准编号：IEC 62047-8-2011
标准名称：半导体装置 微电机装置 第8部分：薄膜的拉力特性测量的带状抗弯试验方法
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
发布部门：
发布日期：2011-03-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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