标准编号：GB/T 17866-1999
标准名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
英文名称：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
发布部门：国家质量技术监督局
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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