标准编号：GB/T 17864-1999
标准名称：关键尺寸(CD)计量方法
英文名称：CD Metrology procedures
发布部门：国家质量技术监督局
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 17864-1999
标准名称：关键尺寸(CD)计量方法
英文名称：CD Metrology procedures
发布部门：国家质量技术监督局
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF