标准编号:IEC 62374-1-2010
标准名称:半导体器件 第1部分:金属层之间的时间相关的介质击穿(TDDB)试验
英文名称:Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers
发布部门:
发布日期:2010-09-01
实施日期:
标准状态:现行
文件格式:PDF
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