标准编号：DIN EN ISO 10991-2010
标准名称：微工艺过程.词汇表
英文名称：Micro process engineering - Vocabulary (ISO 10991:2009); Trilingual version EN ISO 10991:2009
发布部门：德国标准化协会
发布日期：2010-03-01
实施日期：2010-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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