标准编号：DIN 50455-1-2009
标准名称：半导体技术用材料的试验.表征光阻剂方法.第1部分:涂层厚度的光学法测定
英文名称：Testing of materials for semiconductor technology - Methods for characterizing photoresists - Part 1: Determination of coating thickness with optical methods
发布部门：
发布日期：2009-10-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。