标准编号:JIS B8328-2009
标准名称:真空技术 涡轮分子泵 性能特性的测量
英文名称:Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of performance characteristics
发布部门:
发布日期:2009-09-24
实施日期:
标准状态:现行
文件格式:PDF
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标准编号:JIS B8328-2009
标准名称:真空技术 涡轮分子泵 性能特性的测量
英文名称:Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of performance characteristics
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