标准编号：IEC 62047-6-2009
标准名称：半导体装置 微电机装置 第6部分：薄膜材料的轴向疲劳试验方法
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
发布部门：
发布日期：2009-04-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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