标准编号：IEC 62047-4-2008
标准名称：半导体装置 微电机装置 第4部分：MEMS用总规范
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specifications for MEMS
发布部门：
发布日期：2008-08-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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