标准编号：JIS C5630-1-2008
标准名称：半导体装置 微型机电装置 第1部分:术语和定义
英文名称：Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 1: Terms and definitions
发布部门：
发布日期：2008-03-20
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：半导体装置 微型机电装置 第1部分:术语和定义
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