标准编号:DIN EN ISO 14644-8-2007
标准名称:洁净室及其控制环境.第8部分:空气分子污染物的分类
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination (ISO 14644-8:2006); English version of DIN EN ISO 14644-8:2007-04
发布部门:德国标准化协会
发布日期:2007-04-01
实施日期:2007-04-01
标准状态:现行
文件格式:PDF