标准编号：DIN EN 62047-2-2007
标准名称：半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006
发布部门：
发布日期：2007-02-01
实施日期：2007-02-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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