标准编号：BS EN 62047-2-2006
标准名称：半导体器件 微型机电器件 薄膜材料的拉伸试验方法
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
发布部门：
发布日期：2006-11-30
实施日期：2006-11-30
标准状态：现行
文件格式：PDF
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