标准编号:GB/T 28277-2012
标准名称:硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
英文名称:Silicon-based MEMS fabrication technology—Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2012-05-11
实施日期:2012-12-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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