标准编号：GB/T 28274-2012
标准名称：硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—The basic regulation of layout design
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2012-05-11
实施日期：2012-12-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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