标准编号:DIN EN 62047-1-2006
标准名称:半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义(IEC 62047-1...
英文名称:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006
发布部门:
发布日期:2006-10-01
实施日期:2006-10-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
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