标准编号：BS EN 62047-1-2006
标准名称：半导体装置 微型电机装置 术语和定义
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Terms and definitions
发布部门：
发布日期：2006-09-29
实施日期：2006-09-29
标准状态：现行
文件格式：PDF
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