标准编号：DIN EN 62276-2006
标准名称：用于表面声波装置的单晶硅片.规范和测量方法
英文名称：Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications - Specifications and measuring methods (IEC 62276:2005); German version EN 62276:2005
发布部门：
发布日期：2006-04-01
实施日期：2006-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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