标准编号：DIN EN ISO 14644-5-2
标准名称：洁净室和相关控制环境.第5部分:操作
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations (ISO 14644-5:2004); German version EN ISO 14644-5:2004
发布部门：
发布日期：2005-03-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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