标准编号：ISO 14644-5-2004
标准名称：洁净室和相关控制环境 第5部分:操作
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations
发布部门：
发布日期：2004-08-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。
标准编号：ISO 14644-5-2004
标准名称：洁净室和相关控制环境 第5部分:操作
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations
发布部门：
发布日期：2004-08-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF