标准编号：DIN 32564-1-2004
标准名称：微系统用制造设备.术语和定义.第1部分:微系统技术的一般术语
英文名称：Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology
发布部门：
发布日期：2004-05-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。