标准编号：PAS 1022-2004
标准名称：检测材料及介电材料性质以及用椭偏仪测量薄膜层厚度的参考程序
英文名称：Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry
发布部门：
发布日期：2004-02-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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