标准编号：BS IEC 60748-23-4-20
标准名称：半导体器件.集成电路.混合集成电路和薄膜结构.生产线认证.空白详细规范
英文名称：Semiconductor devices - Integrated circuits - Hybrid integrated circuits and film structures - Manufacturing line certification - Blank detail specification
发布部门：
发布日期：2002-06-18
实施日期：2002-06-18
标准状态：现行
文件格式：PDF
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