标准编号：prEN ISO 14644-5-200
标准名称：洁净室和相关控制环境 第5部分：操作
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations (ISO/DIS 14644-5:2001)
发布部门：
发布日期：2001-07-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：洁净室和相关控制环境 第5部分：操作
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations (ISO/DIS 14644-5:2001)
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标准状态：现行
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