标准编号：EN ISO 14644-4-2001
标准名称：洁净室和相关控制环境.第4部分:设计、建造和运行
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up (ISO 14644-4:2001)
发布部门：
发布日期：2001-04-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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