标准编号:prEN ISO 14644-7-200
标准名称:洁净室和相关控制环境 第7部分:分离外壳(清洁排气罩、手套箱、绝缘子、小环境)
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 7: Separative enclosures (clean air hoods, gloveboxes, isolators, mini-environments) (ISO/DIS 14644-7:2001)
发布部门:
发布日期:2001-02-01
实施日期:
标准状态:现行
文件格式:PDF