标准编号:DIN EN ISO 14644-2-2001
标准名称:洁净室和相关控制环境.第2部分:证实与ISO 14644-1(ISO 14644-2:2000) 保持一致的试验和监测规范 德文版本 EN ISO 14644-2:2000
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000); German version EN ISO 14644-2:2000
发布部门:德国标准化协会
发布日期:2001-02-01
实施日期:2001-02-01
标准状态:现行
文件格式:PDF