标准编号：ISO 14706-2000
标准名称：表面化学分析 用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染
英文名称：Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
发布部门：
发布日期：2000-12-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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