标准编号:NF X44-102-2000
标准名称:超净间和有关受控环境.第2部分:验证持续符合ISO 14644-1要求...
英文名称:(Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2 : specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1.)
发布部门:
发布日期:2000-11-01
实施日期:
标准状态:现行
文件格式:PDF