标准编号:ISO 14644-2-2000
标准名称:洁净室和相关控制环境 第2部分:与ISO 14644-1连续相配位的检...
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1
发布部门:
发布日期:2000-09-01
实施日期:
标准状态:现行
文件格式:PDF