标准编号：GB/T 25755-2010
标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
英文名称：Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2010-12-23
实施日期：2011-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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