标准编号:prEN 1633-1-1994
标准名称:洁净室技术 颗粒污染 第1部分:按空气中悬浮粒子含量的洁净室和洁净空气授控空间的分类
英文名称:Cleanroom technology - Particulate contamination - Part 1: Classification of cleanrooms and clean air controlled spaces by airborn particulate content
发布部门:
发布日期:1994-09-01
实施日期:
标准状态:现行
文件格式:PDF