标准编号：prEN 1633-1-1994
标准名称：洁净室技术 颗粒污染 第1部分：按空气中悬浮粒子含量的洁净室和洁净空气授控空间的分类
英文名称：Cleanroom technology - Particulate contamination - Part 1: Classification of cleanrooms and clean air controlled spaces by airborn particulate content
发布部门：
发布日期：1994-09-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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