标准编号：DIN 50450-4-1993
标准名称：半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测...
英文名称：Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C-C-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography
发布部门：
发布日期：1993-09-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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