标准编号:DIN 50450-4-1993
标准名称:半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测...
英文名称:Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C-C-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography
发布部门:
发布日期:1993-09-01
实施日期:
标准状态:现行
文件格式:PDF